DLC碳膜機
DLC碳膜機
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DLC碳膜機
產(chǎn)品介紹
設備簡介：
DLC碳膜機主要應用于紅外透鏡，實現(xiàn)加硬的效果。
特點：
· 摩擦系數(shù)低、基材附著力、耐磨及耐腐蝕性好
· 通過ACS全自動鍍膜控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動鍍膜過程
· 排氣系統(tǒng)為機械泵+分子泵
典型應用及光譜：
▲單層增透工藝曲線圖
DLC-700設備主要規(guī)格參數(shù)：
| 真空腔室尺寸 | SUS304 φ700mmx500mm（H） |
| 有效區(qū)域 | φ350mm |
| 工件旋轉(zhuǎn) | 1-15r/min |
| 烘烤系統(tǒng) | 鎧裝加熱/鹵素燈加熱 |
| 真空排氣 | 機械泵+分子泵 |
| 操作系統(tǒng) | 觸摸屏+工控機+ACS系統(tǒng)+歐姆龍PLC |
基本性能：
| 極限真空 | 7x10-5Pa |
| 排氣時間 | 大氣-2.0x10-3Pa/20min/常溫空載 |
| 基板溫度 | 最高150℃ |
工作條件：
| 空間要求 | 約1.8m（寬）x1.6m（深）x1.8m（高） |
| 電源要求 | 3相4線380v50Hz、約15kw |
| 冷卻水要求 | 40L/min、0.3-0.4MPa、25℃ |
| 壓縮空氣 | 0.5-0.7MPa |
| 設備重量 | 約700kg |
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卷繞真空鍍膜機
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GTRF-17/23射頻離子源
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